강성철 이시형 박종완 이전국 2024-01-21T09:11:43Z 2024-01-21T09:11:43Z 2022-01-10 2003-03 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138775 Microstructure control of tungsten film for bragg reflectors of thin film bulk acoustic wave resonators. 체적탄성파 공진기 브라그 반사층 적용을 위한 텅스텐 박막의 미세구조 조절에 대한 연구 = Article 3 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.v. 40, no.no. 3, pp.268 - 272. 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society v. 40 no. 3 268 272. Tungsten