김경환 김덕호 2024-01-21T09:15:00Z 2024-01-21T09:15:00Z 2022-01-10 2003-02 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138836 마이크로 - 나노 매니퓰레이션 기술의 동향 Article 3 제어자동화시스템공학회지, v.9, no.2, pp.40 - 44 제어자동화시스템공학회지 9 2 40 44 마이크로매니퓰레이션 나노매니퓰레이션 마이크로/나노로봇