김태은 임건자 이종호 김주선 이해원 임대순 2024-01-21T09:34:12Z 2024-01-21T09:34:12Z 2022-01-10 2003-01 1229-7801 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138917 한국세라믹학회 Effect of glycine adsorption on polishing of silicon nitride in chemical mechanical planarzation process CeO₂슬러리에서 glycine의 흡착이 질화규소 박막의 연마특성에 미치는 영향 Article 2 한국세라믹학회지 (Journal of the Korean Ceramic Society), v.40, no.1, pp.77 - 80 한국세라믹학회지 (Journal of the Korean Ceramic Society) 40 1 77 80 kci chemical mechanical planarization