문성욱 2024-01-21T10:06:38Z 2024-01-21T10:06:38Z 2022-01-10 2002-09 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/139228 Optical MEMS-MEMS 기술의 엑츄에이터 응용 (I)( 광통신 부품을 중심으로 ) Article 3 Semiconductor Monthly, v.175, pp.91 - 99 Semiconductor Monthly 175 91 99 MEMS