이유용 박영준 이재봉 조병원 2024-01-21T10:11:22Z 2024-01-21T10:11:22Z 2022-01-10 2002-08 1229-1935 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/139314 Effects of leveler on the trench filling during damascene copper plating 전해전착시 상감 구리 배선의 충전에 미치는 레벨러의 효과 Article 2 Journal of the Korean Electrochemical Society = 전기화학회지, v.5, no.3, pp.153 - 158 Journal of the Korean Electrochemical Society = 전기화학회지 5 3 153 158 electroplating leveler damascene void superfilling