이전국 2024-01-21T10:43:27Z 2024-01-21T10:43:27Z 2022-01-10 2002-04 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/139622 RF MEMS 박막형 고주파 부품 Article 3 전자파 기술, v.13, no.2, pp.53 - 59 전자파 기술 13 2 53 59 RF MEMS