박상하 한승오 박종연 문성욱 박정호 2024-01-21T10:43:56Z 2024-01-21T10:43:56Z 2022-01-10 2002-04 1229-246X https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/139631 Korean 대한전기학회 마이크로몰딩의 이형성 향상을 위한 소수성 Self-assembled Monolayer(SAM) 코팅 Hydrophobic Self-assembled Monolayer(SAM) Coating for Enhanced Demolding Performance in Micromolding Article 2 전기학회논문지 C권, v.51, no.4, pp.175 전기학회논문지 C권 51 4 175 N kci ART000906210 MEMS micromolding adhesion force XPS AFM