문성욱 김희연 2024-01-21T11:36:55Z 2024-01-21T11:36:55Z 2022-01-10 2001-11 1225-5475 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/140051 한국센서학회 The fabrication of microlens array 초소형 렌즈 배열의 제작에 관한 연구 Article 2 센서학회지, v.10, pp.279 - 285 센서학회지 10 279 285 MEMS