조정 나종범 오민석 윤기현 정형진 최원국 2024-01-21T11:37:01Z 2024-01-21T11:37:01Z 2022-01-10 2001-11 1225-8822 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/140053 Korean 한국진공학회 RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 사파이어 기판 위에 성장시킨 ZnO : Ga 박막의 RTA 처리에 따른 photoluminescence 특성변화 Enhancement of photoluminescence and electrical properties of Ga doped ZnO thin film grown on α-Al₂O₃ (0001) single crystal substrate by RF magnetron sputtering through rapid thermal annealing Article 2 한국진공학회지, v.10, no.3, pp.335 - 340 한국진공학회지 10 3 335 340 N other