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<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Song,&#x20;JH</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Kwon,&#x20;SN</dcvalue>
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<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Choi,&#x20;WK</dcvalue>
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<dcvalue element="description" qualifier="abstract">A&#x20;150&#x20;kV&#x20;gas&#x20;cluster&#x20;ion&#x20;accelerator&#x20;was&#x20;constructed.&#x20;Using&#x20;a&#x20;retarding&#x20;field&#x20;analyzer&#x20;and&#x20;time-of-flight&#x20;(TOF)&#x20;mass&#x20;spectrometry,&#x20;the&#x20;gas&#x20;cluster&#x20;source&#x20;was&#x20;characterized.&#x20;To&#x20;form&#x20;cluster&#x20;beams,&#x20;the&#x20;CO2&#x20;gas&#x20;was&#x20;expanded&#x20;through&#x20;a&#x20;quartz&#x20;Laval&#x20;nozzle&#x20;at&#x20;a&#x20;pressure&#x20;of&#x20;1-5&#x20;bar.&#x20;It&#x20;is&#x20;confirmed&#x20;that&#x20;clusters&#x20;formed&#x20;with&#x20;a&#x20;mean&#x20;size&#x20;of&#x20;more&#x20;than&#x20;500&#x20;molecules.&#x20;The&#x20;effect&#x20;of&#x20;source&#x20;temperature&#x20;on&#x20;cluster&#x20;size&#x20;was&#x20;also&#x20;examined.&#x20;When&#x20;CO2&#x20;cluster&#x20;ions&#x20;were&#x20;irradiated&#x20;onto&#x20;a&#x20;highly&#x20;oriented&#x20;pyrolytic&#x20;graphite&#x20;(HOPG)&#x20;at&#x20;the&#x20;acceleration&#x20;voltage&#x20;of&#x20;40&#x20;kV,&#x20;isolated&#x20;impact&#x20;of&#x20;the&#x20;cluster&#x20;ions&#x20;was&#x20;found&#x20;to&#x20;generate&#x20;hillocks&#x20;about&#x20;0.8&#x20;nm&#x20;in&#x20;height&#x20;and&#x20;20&#x20;nm&#x20;in&#x20;diameter.&#x20;(C)&#x20;2001&#x20;Elsevier&#x20;Science&#x20;B.V.&#x20;All&#x20;rights&#x20;reserved.</dcvalue>
<dcvalue element="language" qualifier="none">English</dcvalue>
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<dcvalue element="identifier" qualifier="bibliographicCitation">NUCLEAR&#x20;INSTRUMENTS&#x20;&amp;&#x20;METHODS&#x20;IN&#x20;PHYSICS&#x20;RESEARCH&#x20;SECTION&#x20;B-BEAM&#x20;INTERACTIONS&#x20;WITH&#x20;MATERIALS&#x20;AND&#x20;ATOMS,&#x20;v.179,&#x20;no.4,&#x20;pp.568&#x20;-&#x20;574</dcvalue>
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