정진원 이광렬 은광용 고대홍 2024-01-21T12:03:02Z 2024-01-21T12:03:02Z 2022-01-10 2001-08 1225-8822 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/140256 Korean 한국진공학회 증착조건에 따른 극미세 다이아몬드상 카본 박막의 탄성률 변화거동 A variation of elastic modulus of very thin diamond-like carbon films with deposition condition Article 2 한국진공학회지, v.10, no.4, pp.387 - 395 한국진공학회지 10 4 387 395 N other 다이아몬드상 카본 탄성률측정 기계적 특성 박막의 구조