정귀상 강경두 김태송 이원재 송재성 2024-01-21T12:07:38Z 2024-01-21T12:07:38Z 2022-01-10 2001-07 1229-7607 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/140337 한국전기전자재료학회 Effects of applied bias conditions on electrochemical etch-stop characteristics 인가 바이어스 조건이 전기화학적 식각정지 특성에 미치는 영향 Article 2 TEEM (한국전기전자재료학회), v.14, no.4, pp.263 - 268 TEEM (한국전기전자재료학회) 14 4 263 268 SOI