유웅현 정용재 홍경일 최덕균 김태송 2024-01-21T12:07:45Z 2024-01-21T12:07:45Z 2022-01-10 2001-07 1229-7801 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/140339 한국세라믹학회 Fabrication of Al/PZT/RuO2 micro cantilever system and computer simulation of resonant characteristics Al/PZT/RuO2 마이크로 캔틸레버의 제작과 공진 특성 전산모사 Article 2 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.38, no.7, pp.634 - 638 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 38 7 634 638 kci micro cantilever