박용욱 신현용 박정흠 강종윤 심성훈 최지원 윤석진 김현재 김경환 최형욱 2024-01-21T12:12:21Z 2024-01-21T12:12:21Z 2022-01-10 2001-06 1229-7607 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/140421 한국전기전자재료학회 A study on the ZnO thin film SAW filter by RF sputter RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 SAW 필터에 관한 연구 Article 2 TEEM (한국전기전자재료학회), v.14, no.6, pp.481 - 486 TEEM (한국전기전자재료학회) 14 6 481 486 ZnO thin film preferred orientation resistivity RF magnetron sputter SAW Propagation velocity Insertion loss