김주형 이전국 안진호 2024-01-21T13:02:07Z 2024-01-21T13:02:07Z 2022-01-10 2001-01 1229-7801 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/140785 한국세라믹학회 Growing behavior of AIN thin film deposited by asymmetric bipolar pulsed dc reactive sputtering 비대칭 펄스 직류 반응성 스퍼터링으로 증착된 AIN 박막의 성장 거동 Article 2 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.38, no.1, pp.61 - 67 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 38 1 61 67 kci AlN 박막형 고주파 부품 비대칭 펄스 직류 스퍼터링 pulse frequency duty cycle pulsed dc arc