안광덕 2024-01-21T13:02:57Z 2024-01-21T13:02:57Z 2022-01-10 2001-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/140800 반도체 제조용 포토레지스트 감광재료에 대한 전망 Article 3 정밀화학, v.59, pp.13 - 20 정밀화학 59 13 20 반도체 제조 포토레지스트 감광재료