정증현 김용협 백영준 권동일 2024-01-21T13:07:49Z 2024-01-21T13:07:49Z 2022-01-10 2000-12 1738-8228 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/140883 대한금속.재료학회 Residual stress evaluation through improved curvature method by considering plastic deformation effect of substrate in CVD diamond film Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가 Article 2 대한금속 . 재료학회지 = Journal of the Korean Institute of Metals and Materials, v.38, no.12, pp.1675 - 1683 대한금속 . 재료학회지 = Journal of the Korean Institute of Metals and Materials 38 12 1675 1683 Diamond film Residual stress Plastic deformation Diamond etching Nondiamond phase Stress gradient