이성준 주병권 이윤희 서상희 오영제 김태윤 김철주 2024-01-21T13:15:43Z 2024-01-21T13:15:43Z 2022-01-10 2000-10 0374-4914 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141024 한국물리학회 A study on Fabrication of Thermopile Infrared Detector 써모파일형 적외선 검출기의 제작에 관한 연구 Article 2 새물리, v.41, no.4, pp.260 - 264 새물리 41 4 260 264 MEMS