강호관 김민철 하원호 문성욱 오명환 김도훈 2024-01-21T13:31:35Z 2024-01-21T13:31:35Z 2022-01-10 2000-10 0374-4914 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141054 한국물리학회 Study of the fabrication of a thermal isolation structure for a microbolometer 마이크로 볼로미터의 열적 고립구조 제작에 관한 연구 Article 2 새물리, v.41, no.4, pp.243 - 248 새물리 41 4 243 248 microbolometer thermal isolation