박철우 문성욱 오명환 정홍배 2024-01-21T13:31:45Z 2024-01-21T13:31:45Z 2022-01-10 2000-10 1226-7945 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141057 한국전기전자재료학회 A study for the characteristics of multi-layer VOx thin films for applying to IR absorbing layer 적외선 흡수층 응용을 위한 다층 산화 바나듐 박막의 특성에 관한 연구 Article 2 전기전자재료학회논문지, v.13, no.10, pp.859 - 864 전기전자재료학회논문지 13 10 859 864 IR(infrared) MEMS Microelectromechanical System Microbolometer TCR Temperature coefficient of resistance