채경수 한승오 하종민 문성욱 박정호 2024-01-21T13:35:40Z 2024-01-21T13:35:40Z 2022-01-10 2000-09 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141122 대한전기학회 Design and fabrication of a micromechanical switch using polysilicon surface micromachining 다결정실리콘 표면 미세가공 기술을 이용한 초소형 기계식 스위치의 설계 및 제작 Article 3 대한전기학회논문지 : 전기물성,응용부문 C = The Transactions of The Korean Institute of Electrical Engineers, v.49, no.9, pp.546 - 552 대한전기학회논문지 : 전기물성,응용부문 C = The Transactions of The Korean Institute of Electrical Engineers 49 9 546 552 mechanical switch MEMS Logic Gate actuator surface micromaching