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<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Jang,&#x20;HK</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Chung,&#x20;YD</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Whangbo,&#x20;SW</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Lyo,&#x20;IW</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Whang,&#x20;CN</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Lee,&#x20;SJ</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Lee,&#x20;S</dcvalue>
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<dcvalue element="date" qualifier="available">2024-01-21T13:36:57Z</dcvalue>
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<dcvalue element="description" qualifier="abstract">Glass&#x20;slides&#x20;were&#x20;chemically&#x20;etched&#x20;with&#x20;hydrochloric&#x20;acid&#x20;using&#x20;three&#x20;different&#x20;methods.&#x20;We&#x20;investigated&#x20;the&#x20;effects&#x20;of&#x20;chemical&#x20;etching&#x20;treatments&#x20;on&#x20;such&#x20;properties&#x20;as&#x20;chemical&#x20;composition,&#x20;surface&#x20;roughness,&#x20;and&#x20;relative&#x20;transmittance&#x20;of&#x20;the&#x20;glass.&#x20;Sodium,&#x20;calcium,&#x20;and&#x20;aluminum&#x20;atoms&#x20;at&#x20;the&#x20;glass&#x20;surface&#x20;were&#x20;effectively&#x20;reduced&#x20;by&#x20;chemical&#x20;etching&#x20;with&#x20;hydrochloric&#x20;acid.&#x20;Boiling&#x20;the&#x20;glass&#x20;in&#x20;a&#x20;36%&#x20;hydrochloric&#x20;acid&#x20;solution&#x20;for&#x20;30&#x20;min&#x20;was&#x20;more&#x20;effective&#x20;in&#x20;reducing&#x20;sodium,&#x20;calcium,&#x20;and&#x20;aluminum&#x20;atoms&#x20;at&#x20;the&#x20;surface&#x20;of&#x20;the&#x20;glass&#x20;than&#x20;any&#x20;of&#x20;the&#x20;other&#x20;etching&#x20;methods&#x20;using&#x20;hydrochloric&#x20;acid.&#x20;Surface&#x20;morphology&#x20;of&#x20;the&#x20;glass&#x20;was&#x20;very&#x20;different&#x20;with&#x20;chemical&#x20;etching&#x20;treatments&#x20;with&#x20;hydrochloric&#x20;acid&#x20;etchant.&#x20;Root-mean-square&#x20;surface&#x20;roughness&#x20;of&#x20;the&#x20;bare&#x20;glass&#x20;was&#x20;0.58&#x20;nm,&#x20;but&#x20;the&#x20;roughness&#x20;of&#x20;the&#x20;glass&#x20;etched&#x20;with&#x20;hydrochloric&#x20;acid&#x20;ranged&#x20;from&#x20;5.4&#x20;to&#x20;6.8&#x20;nm.&#x20;The&#x20;sodium&#x20;concentration&#x20;at&#x20;the&#x20;glass&#x20;surface&#x20;was&#x20;greatly&#x20;reduced,&#x20;from&#x20;2.7%&#x20;to&#x20;0.2%.&#x20;The&#x20;depth&#x20;that&#x20;was&#x20;affected&#x20;by&#x20;chemical&#x20;etching&#x20;with&#x20;hydrochloric&#x20;acid&#x20;was&#x20;about&#x20;70nm.&#x20;(C)&#x20;2000&#x20;American&#x20;Vacuum&#x20;Society.&#x20;[S0734-2101(00)06205-9].</dcvalue>
<dcvalue element="language" qualifier="none">English</dcvalue>
<dcvalue element="publisher" qualifier="none">AMER&#x20;INST&#x20;PHYSICS</dcvalue>
<dcvalue element="subject" qualifier="none">TITANIUM-DIOXIDE&#x20;FILMS</dcvalue>
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<dcvalue element="title" qualifier="none">Effects&#x20;of&#x20;chemical&#x20;etching&#x20;with&#x20;hydrochloric&#x20;acid&#x20;on&#x20;a&#x20;glass&#x20;surface</dcvalue>
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<dcvalue element="identifier" qualifier="doi">10.1116&#x2F;1.1287445</dcvalue>
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<dcvalue element="identifier" qualifier="bibliographicCitation">JOURNAL&#x20;OF&#x20;VACUUM&#x20;SCIENCE&#x20;&amp;&#x20;TECHNOLOGY&#x20;A-VACUUM&#x20;SURFACES&#x20;AND&#x20;FILMS,&#x20;v.18,&#x20;no.5,&#x20;pp.2563&#x20;-&#x20;2567</dcvalue>
<dcvalue element="citation" qualifier="title">JOURNAL&#x20;OF&#x20;VACUUM&#x20;SCIENCE&#x20;&amp;&#x20;TECHNOLOGY&#x20;A-VACUUM&#x20;SURFACES&#x20;AND&#x20;FILMS</dcvalue>
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