이동윤 박용욱 남산 이전국 김현재 윤석진 황금찬 2024-01-21T13:42:48Z 2024-01-21T13:42:48Z 2022-01-10 2000-07 1226-7945 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141247 한국전기전자재료학회 A study on C-axis preferred orientation of ZnO thin film at Ar/O2 gas ratios Ar/O2에 따른 ZnO 박막의 C-축 배향성에 관한 연구 Article 2 전기전자재료학회논문지, v.13, no.7, pp.617 - 624 전기전자재료학회논문지 13 7 617 624 ZnO thin film RF magnetron sputtering preferred orientation resistivity roughness ZnO 박막 고주파 마그네트론 스퍼터링 우선 배향성 비저항 거칠기