변영태 우덕하 김선호 정영철 구본조 신기철 2024-01-21T13:43:07Z 2024-01-21T13:43:07Z 2022-01-10 2000-07 0374-4914 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141253 한국물리학회 Deeply etched InP/InGaAsP/InP Ridge-type waveguides fabricated by using chemically assisted ion beam etching (CAIBE) Caibe 기법으로 제작된 깊게 식각된 InP/InGaAsP/InP Ridge 형태의 광도파로 Article 2 새물리, v.41, no.1, pp.41 - 47 새물리 41 1 41 47 InP/InGaAs/InP 광도파로 CAIBE 식각기법 직선 도파로 곡선도파로 삽입손실 복사손실 전파손실 반사손실 2D-FEM