전은정 윤영수 남상철 조원일 신영화 2024-01-21T14:06:02Z 2024-01-21T14:06:02Z 2022-01-10 2000-05 1229-1935 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141400 한국전기화학회 Fabrication and electrochemical characterization of all soild-state thin films micro-battery by in-situ sputtering In-situ 스퍼터링을 이용한 전고상의 박막 전지의 제작 및 전기화학적 특성 평가 Article 2 한국전기화학회지 = Journal of the Korean Electrochemical Society, v.3, no.2, pp.115 - 120 한국전기화학회지 = Journal of the Korean Electrochemical Society 3 2 115 120 all soild-state thin film micro-battery vanadium oxide in-situ LiPON lithium phosphorus oxynitride