박흥우 주병권 이윤희 박정호 오명환 2024-01-21T14:07:02Z 2024-01-21T14:07:02Z 2022-01-10 2000-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141418 Fabrication of micro-vacuum sensor using surface-macromachined lateral-type field emitter device 표면 미세 가공된 측면형 전계 방출 소자를 이용한 초소형 진공 센서의 제작 Article 3 한국센서학회, v.9, no.3, pp.182 - 189 한국센서학회 9 3 182 189 MEMS