심영렬 이석주 민병조 조영조 김학배 2024-01-21T14:31:20Z 2024-01-21T14:31:20Z 2022-01-10 2000-02 1229-6287 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141592 대한전기학회 A prediction method of temperature distribution on the wafer in a rapid thermal process system with multipoint sensing 고속 열처리 시스템에서 웨이퍼 상의 다중점 계측에 의한 온도 분포 추정 기법 연구 Article 2 전기학회논문지 D = Transactions of the Korean Institute of Electrical Engneers, v.49, no.2, pp.62 - 67 전기학회논문지 D = Transactions of the Korean Institute of Electrical Engneers 49 2 62 67 rapid thermal process thermal modeling tempertaure estimation chamber geometry run-by-run control