남상철 조원일 전은정 신영화 윤영수 2024-01-21T14:31:27Z 2024-01-21T14:31:27Z 2022-01-10 2000-02 1225-8822 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141594 Korean 한국진공학회 Microelectromechnical system 소자를 위한 박막형 2차 전지용 SnO2 음극 박막의 충방전 특성 평가 Charge/discharge characteristics of SnO2 thin film as an anode of thin film secondary battery for microelectromechanical system device Article 2 한국진공학회지, v.9, no.1, pp.36 - 41 한국진공학회지 9 1 36 41 N other ting oxide MEMS anode microbattery lithium battery