안광덕 2024-01-21T14:34:22Z 2024-01-21T14:34:22Z 2022-01-10 2000-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141646 반도체 차세대 미세가공기술과 포토레지스트 감광재료의 발전 Article 3 화학세계, v.40, no.9, pp.52 - 59 화학세계 40 9 52 59 미세가공기술 광미세가공기술 G-선 I-선