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<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Kim,&#x20;TW</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Lee,&#x20;DU</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Lee,&#x20;JH</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Yoon,&#x20;YS</dcvalue>
<dcvalue element="date" qualifier="accessioned">2024-01-21T14:38:20Z</dcvalue>
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<dcvalue element="description" qualifier="abstract">SnO2&#x20;thin&#x20;films&#x20;were&#x20;grown&#x20;on&#x20;p-InP&#x20;(100)&#x20;substrates&#x20;by&#x20;using&#x20;radio-frequency&#x20;magnetron&#x20;sputtering&#x20;at&#x20;low&#x20;temperature.&#x20;Atomic&#x20;force&#x20;microscopy&#x20;images&#x20;showed&#x20;that&#x20;the&#x20;root&#x20;mean&#x20;square&#x20;of&#x20;the&#x20;average&#x20;surface&#x20;roughness&#x20;of&#x20;the&#x20;SnO2&#x20;film&#x20;was&#x20;22.6&#x20;Angstrom,&#x20;and&#x20;X-ray&#x20;diffraction&#x20;and&#x20;transmission&#x20;electron&#x20;microscopy&#x20;(TEM)&#x20;measurements&#x20;showed&#x20;that&#x20;the&#x20;SnO2&#x20;thin&#x20;films&#x20;grown&#x20;on&#x20;p-InP&#x20;substrates&#x20;were&#x20;polycrystalline.&#x20;Auger&#x20;electron&#x20;spectroscopy&#x20;and&#x20;bright-field&#x20;TEM&#x20;measurements&#x20;showed&#x20;that&#x20;the&#x20;SnO2&#x20;thin&#x20;layers&#x20;grown&#x20;on&#x20;p-InP&#x20;substrates&#x20;at&#x20;200&#x20;degrees&#x20;C&#x20;had&#x20;no&#x20;significant&#x20;interdiffusion&#x20;problems.&#x20;However,&#x20;a&#x20;thin&#x20;interfacial&#x20;layer&#x20;of&#x20;unknown&#x20;origin&#x20;was&#x20;detected&#x20;between&#x20;the&#x20;SnO2&#x20;film&#x20;and&#x20;the&#x20;substrate.&#x20;These&#x20;results&#x20;indicate&#x20;that&#x20;the&#x20;SnO2&#x20;epitaxial&#x20;films&#x20;grown&#x20;on&#x20;p-InP&#x20;(100)&#x20;substrates&#x20;at&#x20;low&#x20;temperature&#x20;hold&#x20;promise&#x20;for&#x20;potential&#x20;devices&#x20;based&#x20;on&#x20;InP&#x20;substrates,&#x20;such&#x20;as&#x20;superior&#x20;stability&#x20;varistors&#x20;and&#x20;high-efficiency&#x20;solar&#x20;cells.&#x20;Even&#x20;the&#x20;structure&#x20;with&#x20;the&#x20;unintentionally&#x20;grown&#x20;interfacial&#x20;layer&#x20;might&#x20;be&#x20;used&#x20;for&#x20;high-efficiency&#x20;solar&#x20;cells.&#x20;(C)&#x20;2000&#x20;Elsevier&#x20;Science&#x20;Ltd.&#x20;All&#x20;rights&#x20;reserved.</dcvalue>
<dcvalue element="language" qualifier="none">English</dcvalue>
<dcvalue element="publisher" qualifier="none">PERGAMON-ELSEVIER&#x20;SCIENCE&#x20;LTD</dcvalue>
<dcvalue element="subject" qualifier="none">RAMAN</dcvalue>
<dcvalue element="title" qualifier="none">Surface&#x20;and&#x20;microstructural&#x20;properties&#x20;of&#x20;SnO2&#x20;thin&#x20;films&#x20;grown&#x20;on&#x20;p-InP&#x20;(100)&#x20;substrates&#x20;at&#x20;low&#x20;temperature</dcvalue>
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<dcvalue element="identifier" qualifier="doi">10.1016&#x2F;S0038-1098(00)00231-3</dcvalue>
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<dcvalue element="identifier" qualifier="bibliographicCitation">SOLID&#x20;STATE&#x20;COMMUNICATIONS,&#x20;v.115,&#x20;no.9,&#x20;pp.503&#x20;-&#x20;507</dcvalue>
<dcvalue element="citation" qualifier="title">SOLID&#x20;STATE&#x20;COMMUNICATIONS</dcvalue>
<dcvalue element="citation" qualifier="volume">115</dcvalue>
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<dcvalue element="relation" qualifier="journalWebOfScienceCategory">Physics,&#x20;Condensed&#x20;Matter</dcvalue>
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