최원국 조정 조준식 송재훈 정형진 고석근 2024-01-21T16:03:26Z 2024-01-21T16:03:26Z 2022-01-10 1999-01 1226-9360 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/142464 한국마이크로전자 및 패키징학회 The effect of initial Pd catalyst oxidation state on CH4 sensitivity of SnO2 thin film sensor Pd 촉매의 부분 산화 조절을 이용한 SnO2 박막 센서의 CH4 감도 변화 연구 Article 2 마이크로전자 및 패키징학회지 = Journal of Microelectronics and Packaging Society, v.6, no.2, pp.45 - 49 마이크로전자 및 패키징학회지 = Journal of Microelectronics and Packaging Society 6 2 45 49 Pd catalyst partial oxidation chemical sensitization electronic sensitization x-ray phototelectron spectrosocpy CH₄ gas sensitivity