백경갑 주병권 김희중 오명환 2024-01-21T16:34:14Z 2024-01-21T16:34:14Z 2022-01-10 1998-11 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/142759 우주항공분야의 초소형 정밀기계 Article 3 전자부품 = The Electronic Parts & Components Monthly, pp.144 - 152 전자부품 = The Electronic Parts & Components Monthly 144 152 MEMS