박흥우 주병권 박윤권 박정호 김철주 염상섭 서상희 오명환 2024-01-21T16:37:38Z 2024-01-21T16:37:38Z 2022-01-10 1998-10 1229-7607 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/142818 한국전기전자재료학회 Si micromachining for MEMS-IR sensor application 결정의존성 식각/기판접합을 이용한 MEMS용 구조물의 제작 Article 2 TEEM (한국전기전자재료학회), v.11, no.10, pp.815 - 819 TEEM (한국전기전자재료학회) 11 10 815 819 field emission MEMS wafer direct bonding orientation dependent etching PbTiO3(PTO) layer IR sensor sol-gel