조정 조준식 윤기현 김현주 최원국 정형진 고석근 2024-01-21T16:43:30Z 2024-01-21T16:43:30Z 2022-01-10 1998-08 1229-7801 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/142918 한국세라믹학회 The sensitivity of ultra thin pd-doped SnO2 gas sensor fabricated by ion-assisted deposition for methane gas 이온빔 보조증착법을 이용하여 제작된 SnO2 에 초박막 Pd가 첨가된 박막형 가스센서의 메탄가스 감지 특성 Article 2 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.35, no.8, pp.795 - 800 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 35 8 795 800 SnO2 thin film reactive ion-assisted deposition ultra-thin Pd layer Ion beam sputtering spill-over