윤진국 정병성 고흥석 김재수 최종술 2024-01-21T16:46:07Z 2024-01-21T16:46:07Z 2022-01-10 1998-07 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/142962 대한금속학회 A study on the chemical vapor deposition of Si on Mo substrate Mo 기판에서 Si의 화학증착에 관한 연구 Article 3 대한금속학회지, v.v. 36, no.no. 7, pp.1123 - 1130 대한금속학회지 v. 36 no. 7 1123 1130 molybdenum