주병권 정회환 김영조 한정인 조경익 오명환 2024-01-21T17:07:38Z 2024-01-21T17:07:38Z 2022-01-10 1998-05 1225-5475 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143091 한국센서학회 Electrostatic bonding between Si and ITO-coated #7059 glass substrates 실리콘 기판과 ITO가 코팅된 #7059 유리 기판간의 정전 열 접합 Article 2 센서학회지, v.7, no.3, pp.211 - 218 센서학회지 7 3 211 218 MEMS