S. Im* M. S. Oh 김효배 송종한 2024-01-21T17:10:37Z 2024-01-21T17:10:37Z 2022-01-10 1998-04 1225-8822 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143142 English 한국진공학회 Enhanced relaxation of strain in BF2+ implanted Ge0.06Si0.94 Article 2 한국진공학회지, v.2, no.1, pp.37 - 42 한국진공학회지 2 1 37 42 N other 키워드