김명근 이광렬 은광용 2024-01-21T17:16:57Z 2024-01-21T17:16:57Z 2022-01-10 1998-02 1225-8822 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143251 Korean 한국진공학회 다층 다이아몬드상 카본 필름의 윤활 및 마모 거동 Tribological behavior of multi-layered diamond-like carbon films Article 2 한국진공학회지, v.7, no.1, pp.59 - 65 한국진공학회지 7 1 59 65 N other Si 함유 다이아몬드상 카본 필름 윤활특성