윤영수 2024-01-21T17:31:01Z 2024-01-21T17:31:01Z 2022-01-10 1998-02 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143253 초전성 PZT 박막을 이용한 microelectromechanical system 소자의 제작 Article 3 전기전자재료, v.11, no.2, pp.135 - 139 전기전자재료 11 2 135 139 초전송 PZT 적외선 센서 MEMS