조성진 이광렬 은광용 한준희 고대홍 2024-01-21T17:37:00Z 2024-01-21T17:37:00Z 2022-01-10 1998-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143350 Evaluation of elastic properties of DLC films using substrate etching techniques 기판 etching 기법을 이용한 DLC 필름의 탄성특성 평가 Article 3 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.35, no.8, pp.813 - 818 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 35 8 813 818 다이아몬드상 카본 탄성계수 잔류응력 DLC films elastic modulus poisson&apos s ratio nano-indenataion