김효배 조만호 황보상우 최성창 최원국 오정아 송종한 황정남 2024-01-21T18:08:26Z 2024-01-21T18:08:26Z 2022-01-10 1997-08 1225-8822 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143657 Korean 한국진공학회 실리콘 기판 위에 UHV-ICB 증착법으로 적층 성장된 Y2O3 박막의 BS/channeling 연구 BS/channeling studies on the heteroepitaxially grown Y2O3 films on Si substrates by UHV-ICB deposition Article 2 한국진공학회지, v.6, no.3, pp.235 - 241 한국진공학회지 6 3 235 241 N other backscattering