김희중 2024-01-21T18:13:53Z 2024-01-21T18:13:53Z 2022-01-10 1997-06 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143749 마이크로머신 (MEMS) 과 재료기술 Article 3 서울공대지 ., v.27, pp.27 - 29 서울공대지 . 27 27 29 마이크로머신