박세기 민병돈 김성일 김은규 민석기 이천 안병성 2024-01-21T18:31:08Z 2024-01-21T18:31:08Z 2022-01-10 1997-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143809 Laser direct etching of Al//0//.//3Ga//0//.//7As/GaAs multilayer structures. Al//0//.//3Ga//0//.//7As/GaAs 다층구조의 레이저 직접 에칭 = Article 3 응용물리 = The Korean physical society, v.v. 10, no.no. 3, pp.266 - 271 응용물리 = The Korean physical society v. 10 no. 3 266 271 알곤이온 레이저