이광렬 은광용 2024-01-21T18:31:28Z 2024-01-21T18:31:28Z 2022-01-10 1997-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143815 Structure and mechanical properties of nitrogenated diamond-like carbon films deposited by RF-PACVD RF 플라즈마 CVD에 의해 합성된 질소 함유 다이아몬드성 카본필름의 구조 및 기계적 특성 Article 3 Journal of the Korean vacuum society., v.6, no.2, pp.151 - 158 Journal of the Korean vacuum society. 6 2 151 158 다이아몬드상 카본 필름 내마모윤활특성