김지형 이용혁 권용성 염근영 송종한 2024-01-21T18:31:53Z 2024-01-21T18:31:53Z 2022-01-10 1997-05 1225-8822 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143822 Korean 한국진공학회 Mo- 화합물의 확산방지막으로서의 성질에 관한 연구 Diffusion barrier properties of mo compound thin films Article 2 한국진공학회지, v.6, no.2, pp.143 - 150 한국진공학회지 6 2 143 150 N other diffusion barrier