박경현 변영태 김명욱 김선호 최상삼 조욱래 박승한 김웅 2024-01-21T18:34:43Z 2024-01-21T18:34:43Z 2021-09-13 1997-04 1225-6285 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143871 Korean 한국광학회 광도파로 소자 제작을 위한 레이저 리소그래피 장치 Laser lithography system for the fabrication of optical waveguides Article 2 한국광학회지, v.8, no.2, pp.169 - 173 한국광학회지 8 2 169 173 N kci 광도파로 광소자 레이저 리소그래피