백영준 박범수 은광용 2024-01-21T18:37:08Z 2024-01-21T18:37:08Z 2022-01-10 1997-03 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143913 BCl ₃ -NH ₃계의 플라즈마 화학증착공정을 이용한 질화붕소막의 합성 Article 3 Journal of the Korean ceramic society., v.34, no.3, pp.249 - 256 Journal of the Korean ceramic society. 34 3 249 256 질화붕소