김은규 민석기 김광무 한철구 정석구 박종윤 박종호 2024-01-21T18:37:12Z 2024-01-21T18:37:12Z 2022-01-10 1997-03 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143914 전자선 리소그라피법에 의한 동일평면게이크 트랜지스터의 제작과 특성 연구 . Article 3 응용물리 ., v.v. 10, no.no. 2, pp.165 - 169 응용물리 . v. 10 no. 2 165 169 전자빔 리소그래피