윤영수 2024-01-21T18:43:03Z 2024-01-21T18:43:03Z 2022-01-10 1997-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/144015 압전성 PZT 박막과 Surface micromachining 기술을 이용한 Microelectromechanical system 소자의 제작 공정 및 문제점 Article 3 요업기술, v.12, no.5, pp.364 - 370 요업기술 12 5 364 370 MEMS PZT 압전 박막 Micromachining