주병권 오명환 2024-01-21T19:16:56Z 2024-01-21T19:16:56Z 2022-01-10 1996-08 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/144360 FED 기술 강좌 : Amorphic diamond FEA 및 진공 실장 기술 Article 3 전자부품지 전자부품지 flat panel display MEMS vacuum microelectronics field emission display field emitter